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    潔淨室換氣次數與截麵風速

    2026-04-09

    換氣次數與截麵風速
    換氣次數=房間總送風量/房間體積(次/h)
    截麵風速一通過工作區高度截麵的房間總風量/(3600X工作區高度截麵積)
    (m/s)
    各行業會有自己的換氣次數和截麵風速的要求，設計時需參考各行業的有關規範或者根據具體條件進行計算。
    表5-6是ISO14644一4主要針對微電子工業潔淨室給出，被我國GB 50073一2001《潔淨廠房設計規範》等同采用的換氣次數與截麵風速數值，當沒有具體標準時可以參考，其中風速更應參照第四章介紹的下限風速

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