詢盤
空調淨化係統一、電子工業潔淨室空調淨化係統主要形式電子工業潔淨室空調淨化係統主要有以下幾種形式:1垂直單向流集中送風方式;2風機過濾單元送風方式;3隧道送風方式;4非單向流送風加層流罩送風方式;5微環境方式。以上5種送風方式比較見表9-11。